- Maksymalne wymiary próbki w komorze: co najmniej 14 cm średnica oraz co najmniej 8 cm wysokość
- Rozdzielczość mikroskopu w trybie wysokiej próżni (SE): nie gorsza niż 3 nm.
- Rozdzielczość mikroskopu w trybie zmiennej próżni (BSE): nie gorsza niż 3,4 nm
- Powiększenie uzyskiwanych obrazów elektronowych w zakresie: 2 – 1 000 000 razy (obraz z detektorów SE/BSE) – regulowane w sposób ciągły w całym zakresie.
- System mikroanalizy rentgenowskiej typu EDS do jakościowej i ilościowej analizy składu chemicznego obserwowanych powierzchni.
